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薄膜化技術 単行本 – 2002/6


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商品の説明

内容(「BOOK」データベースより)

薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。

内容(「MARC」データベースより)

原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。

商品の説明をすべて表示する

登録情報

  • 単行本: 316ページ
  • 出版社: 共立出版; 第3版 (2002/06)
  • 言語: 日本語
  • ISBN-10: 4320086139
  • ISBN-13: 978-4320086135
  • 発売日: 2002/06
  • 梱包サイズ: 21 x 15.6 x 2.6 cm
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