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真空ハンドブック 単行本 – 2002/7/1

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商品の説明

内容(「BOOK」データベースより)

本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。

内容(「MARC」データベースより)

半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。


登録情報

  • 単行本: 331ページ
  • 出版社: オーム社; 新版 (2002/7/1)
  • 言語: 日本語
  • ISBN-10: 4274087271
  • ISBN-13: 978-4274087271
  • 発売日: 2002/7/1
  • 梱包サイズ: 25.6 x 18.8 x 2.6 cm
  • おすすめ度: 5つ星のうち 4.0 1 件のカスタマーレビュー
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2013年9月24日
形式: 単行本
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