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半導体デバイス―基礎理論とプロセス技術 (日本語) 単行本 – 2004/3/1

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商品の説明

内容(「BOOK」データベースより)

本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。

内容(「MARC」データベースより)

最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。

登録情報

  • 発売日 : 2004/3/1
  • 単行本 : 499ページ
  • ISBN-10 : 4782855508
  • ISBN-13 : 978-4782855508
  • 出版社 : 産業図書; 第2版 (2004/3/1)
  • 言語: : 日本語
  • カスタマーレビュー:
    5つ星のうち4.3 58個の評価

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