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薄膜トランジスタ技術のすべて―構造、特性、製造プロセスから次世代TFTまで
内容(「BOOK」データベースより)
TFT‐LCDとして一大産業を築き上げた薄膜トランジスタ(TFT)は、ガラス基板上への回路機能集積、シリコン系デバイス以外への開発活発化など、新たな時代に突入しようとしてる。本書は、a‐Si TFT開発の黎明期からR&Dおよび事業化に携わった技術者が、TFTの全貌から学会を賑わせている最先端情報までを余すところなく解説。  続きを読む

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