商品の説明
内容（「BOOK」データベースより）
材料構成原子が自然に原子間の相互作用により特定の極微構造を形成する、いわゆる「自己組織化」現象の利用が注目されている。この現象は量子細線や量子ドットなどのナノ構造の形成に応用され、次世代のプロセス技術のひとつとして研究開発が著しい。本書は、このような自己組織化プロセス技術について、わが国の本分野の第一線の研究者らが解説した初の成書である。自己組織化現象のメカニズムと極微構造制御技術、STMなどによる構造評価技術、計算物理による理論とシミュレーションなどの基本事項から、SiやGe、化合物半導体らのナノ構造作製技術への応用まで、網羅的に解説している。
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