内容紹介
本書では, 薄膜作製技術をできるだけ物理あるいは化学の知識に基づいて捉えると同時に, 現場で役に立つ指針となる基盤技術を解説することを主眼として編集された。先にも述べたように真空あるいはプラズマを用いる薄膜作製技術は, 装置に対する依存性が大きな生産技術である。したがって, 個々の装置で起きているトラブルや個々の装置設計における問題をすべて解決できる指針を与えることは難しい。しかしながら, もちろん薄膜作製技術の基盤は物理および化学であり, それらに基づいた系統的な考察が個々の現場でのトラブルの解決に役立つと信ずる。本書が, 薄膜の生産あるいは開発の現場において役立てば幸いである。 2006年11月 編集委員
レビュー
出版社より薄膜技術は現代の産業を支える基盤技術といっても過言ではない。特にLSIやディスプレイなどは薄膜の堆積物ともいえる。そのような薄膜技術は、物理、化学などが複雑に交じり合う領域であり、産業界では得てして経験則で処理される部分も散見された。本書では、現象を科学的に捕らえることを主眼とし、装置に依存する部分も多い薄膜形成における様々なトラブルに対応できることを目指して編集した。(2009年6月)