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著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
小島 啓安
1977年東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キヤノン(株)に5年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また旭硝子(株)に12年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。その後、技術移転会社などを経て2003年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として(有)アーステックを設立(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
1977年東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キヤノン(株)に5年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また旭硝子(株)に12年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。その後、技術移転会社などを経て2003年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として(有)アーステックを設立(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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形式:単行本
基礎から応用までこの一冊で完了します。
Q＆Aから予想されるライトな内容ではありません。
他に反応性スパッタについての書籍なら
Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science) (Springer Series in Materials Science) (Hardcover)くらいでしょう。
様々な引用も多く、余程のことが無い限り困ることは無いでしょう。
欠点は、内容が細密なことと記載順序が多少行ったり来たりするので、斜め読みでは
必要な部分を読み飛ばす可能性があります。
索引の数を増やすか、重要キーワードを太字にしていただければ助かったと思います。
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形式:単行本|Amazonが確認した購入
仕事でスパッタリングターゲットを扱う上で、学習用に購入してみました。
スパッタリングの特徴や、スパッタ装置の種類なメカニズム、スパッタレート、プリスパッタ…など、ありとあらゆることが網羅されており、大変参考になりました。
ただ、円筒形(回転形)ターゲットについての記述が少ししか無かったので、そこだけ少し残念に思いました。
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ただ、円筒形(回転形)ターゲットについての記述が少ししか無かったので、そこだけ少し残念に思いました。
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