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商品の説明
内容（「BOOK」データベースより）
半導体デバイス製造に関する用語辞典。7つの工程順に分け、その中をさらに分類順に構成する。各項目内は用語・読み方・意味・英訳を表形式で掲載する。巻末の資料編には、引用文献一覧表、半導体製造装置構成表などの図解、国際単位系計量単位がある。日本語索引・英語索引を付す。1987年初版刊行のものの第3版にあたる。
--このテキストは、絶版本またはこのタイトルには設定されていない版型に関連付けられています。
内容（「MARC」データベースより）
設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
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カスタマーレビュー
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形式:単行本
第5版が300mmウェーハがポツポツ出てきた頃に出版されたので、いささか不満な点があったが、本書は満を持して300mm時代に対応して編集された感がある。少なくとも私の関わっているプロセスに関しては「なぜその処理をするのか?」「その処理をした後ウェーハはどのような影響/変化が起きるのか」の疑問に答える出来になっている。おかげで抱えていた疑問のいくつかが氷解した。また第5版に比べて各項目が充実していることも理解しやすさを増している。各課に1冊は欲しい1書である。
形式:単行本
関係者はお分かりだと思うが、非常に専門分化が進んで、各工程がどのような処理をウェーハに対して行っているか、本当の所はあんまりわかっていないなどということがしばしばある。だが最低でも担当してる部分の前工程、後工程に関してはざっくりとした知識は欲しいし、また自分が担当している装置に関しても他人に説明する必要が出てくるなんてことはよくあることである。そのような時に便利なのが本書であり、索引をぱらぱらめくって簡潔に理解し説明することが出来る。近くにあると非常に重宝する本である。ただし本書は8インチ時代の物なので、ロード/アンロード周りに関してはカセットには詳しいが、FOUP周りが弱いので300mmウェーハに関しては次版を参照することをお勧めしたい。
リストマニア
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