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最も参考になったカスタマーレビュー
5つ星のうち 5.0
300mm時代に適合した旬の本,
By 第20軍団兵 (福岡県) - レビューをすべて見る
レビュー対象商品: 半導体製造装置用語辞典 (単行本)
第5版が300mmウェーハがポツポツ出てきた頃に出版されたので、いささか不満な点があったが、本書は満を持して300mm時代に対応して編集された感がある。少なくとも私の関わっているプロセスに関しては「なぜその処理をするのか?」「その処理をした後ウェーハはどのような影響/変化が起きるのか」の疑問に答える出来になっている。おかげで抱えていた疑問のいくつかが氷解した。また第5版に比べて各項目が充実していることも理解しやすさを増している。各課に1冊は欲しい1書である。
5つ星のうち 3.0
半導体技術者必携の書,
By 第20軍団兵 (福岡県) - レビューをすべて見る
レビュー対象商品: 半導体製造装置用語辞典 (単行本)
関係者はお分かりだと思うが、非常に専門分化が進んで、各工程がどのような処理をウェーハに対して行っているか、本当の所はあんまりわかっていないなどということがしばしばある。だが最低でも担当してる部分の前工程、後工程に関してはざっくりとした知識は欲しいし、また自分が担当している装置に関しても他人に説明する必要が出てくるなんてことはよくあることである。そのような時に便利なのが本書であり、索引をぱらぱらめくって簡潔に理解し説明することが出来る。近くにあると非常に重宝する本である。ただし本書は8インチ時代の物なので、ロード/アンロード周りに関してはカセットには詳しいが、FOUP周りが弱いので300mmウェーハに関しては次版を参照することをお勧めしたい。
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