関係者はお分かりだと思うが、非常に専門分化が進んで、各工程がどのような処理をウェーハに対して行っているか、本当の所はあんまりわかっていないなどということがしばしばある。だが最低でも担当してる部分の前工程、後工程に関してはざっくりとした知識は欲しいし、また自分が担当している装置に関しても他人に説明する必要が出てくるなんてことはよくあることである。そのような時に便利なのが本書であり、索引をぱらぱらめくって簡潔に理解し説明することが出来る。近くにあると非常に重宝する本である。ただし本書は8インチ時代の物なので、ロード/アンロード周りに関してはカセットには詳しいが、FOUP周りが弱いので300mmウェーハに関しては次版を参照することをお勧めしたい。