大手半導体メーカーが開発中(@2009)の最先端LSIの電極技術であるTSV(Through-Silicon Via)技術の専門書です。
学会発表や企業からの情報など、TSVの種類、製造する方法、加工するための要素技術、実例などの非常に多くの情報がコンパクトにまとまっています。
日本では教科書レベルの本が多く、この種の専門書はシンクタンクのような会社が高額で販売しており、通常の書籍と出された本書は個人で購入できるうれしい本でもあります。
これからTSVの勉強をする人には、おすすめの本です。
追伸
著者の傳田 精一は、30年ほど前から会社努め中にありながら、半導体技術の啓蒙書を多数だされ、大変お世話になりました。このような大量のデータの著書を出されたのは驚きとともに敬服いたします。傳田さんのファンの方は、傳田さんから元気をもらうためにおすすめです。