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内容（「MARC」データベースより）
高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
伊藤 洋
1976年東京大学工学系研究科博士課程修了。1976年~1980年ニューヨーク州立大学シラキュース校化学科博士研究員、研究員。多糖合成に従事。1980年~現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member(主任研究員)、工学博士。主として、感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
1976年東京大学工学系研究科博士課程修了。1976年~1980年ニューヨーク州立大学シラキュース校化学科博士研究員、研究員。多糖合成に従事。1980年~現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member(主任研究員)、工学博士。主として、感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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6 人中、6人の方が、｢このレビューが参考になった｣と投票しています。
形式:単行本
半導体業界において自分のかかわるプロセス技術はさることながらインテグレーションと呼ばれるプロセスの統合を考慮した全体的な視野の広さが求められます。
特に半導体デバイスの微細化の肝といわれる露光工程のその歴史、材料の変遷、主材料の理解は、異種材料にたいするケアが大変大切になってくるプロセス技術者には必須であり、ArFやEUVなど最先端技術をふくむレジスト材料に関しての基礎知識の習得には最適といえます。
特に半導体デバイスの微細化の肝といわれる露光工程のその歴史、材料の変遷、主材料の理解は、異種材料にたいするケアが大変大切になってくるプロセス技術者には必須であり、ArFやEUVなど最先端技術をふくむレジスト材料に関しての基礎知識の習得には最適といえます。
1 人中、1人の方が、｢このレビューが参考になった｣と投票しています。
形式:単行本
レジスト材を扱うことになり、この本にたどり着きました。
そもそもこのシリーズは、高分子の分野では有名とのこと。
私は、この本で予習してから仕事に入りました。勉強した
ことが目の前で繰り広げられ、化学の面白さを再認識しな
がら実験に取り組むことができました。
開発者の書かれた本ということで、化学の面白さを実感する
ことができたという側面もあります。
細かな反応機構なども書かれており、レジスト材を使うなら
一度目を通しておくといい一冊でしょう。
ただし、私には難しすぎて最後まで読み切れていないという
ことで☆４つとしました。化学専攻で反応までしっかり頭に
入っている方が読めば、吸収できる内容だと思います。
そもそもこのシリーズは、高分子の分野では有名とのこと。
私は、この本で予習してから仕事に入りました。勉強した
ことが目の前で繰り広げられ、化学の面白さを再認識しな
がら実験に取り組むことができました。
開発者の書かれた本ということで、化学の面白さを実感する
ことができたという側面もあります。
細かな反応機構なども書かれており、レジスト材を使うなら
一度目を通しておくといい一冊でしょう。
ただし、私には難しすぎて最後まで読み切れていないという
ことで☆４つとしました。化学専攻で反応までしっかり頭に
入っている方が読めば、吸収できる内容だと思います。
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