「マイクロマシン」もしくは「MEMS」と言っても、様々な分野がある。
例えば、
○ アクチュエータ
○ センサ
○ 光
○ バイオ・化学
…etc。
本書は、こういった様々な分野のマイクロマシン技術を紹介している一冊である。幅広い分野について書かれているという意味では貴重な一冊なのかもしれない。
それで、気になる難易度はというと。確かに、入門〜基礎レベルと言ったところであろう。ただし、アクチュエータにしてもセンサにしても…バイオ・化学にしても、その背景となる知識がないことには、厳しいであろう。また、基本的な半導体プロセスの知識も必須である。
個人的には、実務経験を三ヶ月なり半年なり積んだくらいの人が読むのが良いかと思う。