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マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用
 
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マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用 [単行本]

藤田 博之
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商品の説明

内容(「BOOK」データベースより)

半導体の微細加工技術を利用して、数μmという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。

内容(「MARC」データベースより)

マイクロマシンからナノ領域に至る微小機械に関する様々な側面をわかりやすく述べる。研究発展の歴史、微小な機械の特徴と利点、微小機械の活躍が期待される分野を解説。ナノテクノロジーとの関係における将来的展開等も言及。

登録情報

  • 単行本: 232ページ
  • 出版社: 工業調査会 (2003/08)
  • ISBN-10: 4769371179
  • ISBN-13: 978-4769371175
  • 発売日: 2003/08
  • 商品の寸法: 21 x 14.8 x 1.6 cm
  • おすすめ度: 5つ星のうち 3.0  レビューをすべて見る (1 カスタマーレビュー)
  • Amazon ベストセラー商品ランキング: 本 - 651,532位 (本のベストセラーを見る)
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By toto丸
形式:単行本
「マイクロマシン」もしくは「MEMS」と言っても、様々な分野がある。
例えば、
○ アクチュエータ
○ センサ
○ 光
○ バイオ・化学
…etc。
本書は、こういった様々な分野のマイクロマシン技術を紹介している一冊である。幅広い分野について書かれているという意味では貴重な一冊なのかもしれない。
それで、気になる難易度はというと。確かに、入門〜基礎レベルと言ったところであろう。ただし、アクチュエータにしてもセンサにしても…バイオ・化学にしても、その背景となる知識がないことには、厳しいであろう。また、基本的な半導体プロセスの知識も必須である。
個人的には、実務経験を三ヶ月なり半年なり積んだくらいの人が読むのが良いかと思う。
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