商品の説明
内容（「BOOK」データベースより）
本書は総合知識を必要とする技術分野を扱っている。特に、マイクロ光学、マイクロ力学の基礎、マイクロマシニング、マイクロオプティカルセンサ、マイクロメカニカルセンサ、マイクロアクチュエータ、マイクロオプティクスなどの最先端技術を、詳細に記述してある。
内容（「MARC」データベースより）
マイクロオプティクス、マイクロメカニクス、マイクロエレクトロニクスの技術融合を一冊に網羅した使いやすいハンドブック。最先端技術を、詳細に記述した、若い研究者にとって有用な参考書。
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