内容（「BOOK」データベースより）
本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。
内容（「MARC」データベースより）
ミクロな視点とマクロな視点に立って、プラズマの基本的な性質や考え方について解説し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を紹介する。〈ソフトカバー〉
著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
菅井 秀郎
1971年東北大学大学院工学研究科博士課程修了、工学博士。現在名古屋大学大学院工学研究科教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
1971年東北大学大学院工学研究科博士課程修了、工学博士。現在名古屋大学大学院工学研究科教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
