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商品の説明
内容（「BOOK」データベースより）
本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。
内容（「MARC」データベースより）
ミクロな視点とマクロな視点に立って、プラズマの基本的な性質や考え方について解説し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を紹介する。〈ソフトカバー〉
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5つ星のうち 4.0
プラズマを始める第一ステップとなりうる,
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レビュー対象商品: プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ) (単行本)
~プラズマ関係の書籍としては、とっつきがよい。他の専門性を突き詰めた書籍と異なり、最初のステップを踏み出すための内容といえる。内容としてはプラズマ 自体の解説から始まり、各種放電の特徴や理論数式、その導出など十分詳説され ており、応用に関しても触れられている。 学生・社会人に限らず、プラズマ技術に関わる上での第一ステップとして必要
6 人中、5人の方が、｢このレビューが参考になった｣と投票しています。
5つ星のうち 4.0
高周波放電の基礎として,
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レビュー対象商品: プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ) (単行本)
プラズマを学ぶ人なら一度はこの本を目にしているはず。プラズマの基礎特性から産業応用まで一通りカバーしてます。 特に高周波放電(RF)については、DC放電よりもページ数を割いて説明してあり、 アンテナ結合の考え方から、CCPとICPについて、そして表面波やECRやヘリコンまで 載っています。特にCCPは自己バイアスや加熱モードについて詳しく載っているので、 スパッタやエッチングなどCCPをよく使う方にはちょうどいいと思います。 そして演習問題もちゃんと解答が載ってます(これは良書の最低条件だと思ってます)。 ただ残念なのは、産業応用としてエッチングやCVDの話をしているけど、具体的な装置構成 については載っていません(もちろんDC放電関係も)。あと、プラズマの特性を測定するのに 使うプローブ法や分光法もほとんど載っていないので、そこら辺は別の本でカバーしてください。
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