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内容紹介
工業調査会の書籍。半導体プロセスを基本要素に分けた基本プロセスと、それらの組合せで構成されるプロセスモジュールを中心に半導体プロセスについてわかりやすく解説します。[著者プロフィール]1935年東京生れ。1959年横浜国立大学化学工業科卒。1959年~78年富士通株式会社勤務。1977年東京大学より工学博士号授与。1978~82年パイオニア株式会社勤務。1979年米国半導体装置材料協会よりSEMMY賞授与。1982~88年アプライドマテリアルズジャパン株式会社勤務。1988年株式会社半導体プロセス研究所設立、現在に至る。
内容（「BOOK」データベースより）
半導体プロセスとはシリコンウェハから半導体チップを製造する過程のことである。本書では、半導体プロセスを基本要素に分けた基本プロセスと、それらの組合せで構成されるプロセスモジュールを中心に半導体プロセスについてわかりやすく解説する。単なる技術解説にとどまらず、半導体プロセスの考え方から、歴史、これからの方向など著者ならではの示唆に富んだ内容となっている。既刊「はじめての半導体製造装置」の姉妹編。
--このテキストは、絶版本またはこのタイトルには設定されていない版型に関連付けられています。
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7 人中、7人の方が、｢このレビューが参考になった｣と投票しています。
形式:単行本
前半の１-４章では概要がまとめられ それ以降の章で各プロセスごとの詳しい 説明がなされています。 要求される基礎知識は高くなく、用語なども 解説されているので読みやすい本です。ただ、 基本的な半導体の知識は必要とされますので化学系の 人が読む場合、所々で不明な点がでるかもしれません。 他の本とくらべて図が詳しく、またわかりやすいのが印象的です。プロセス全体の概要がわかるようになっていますので、ここのプロセスについて詳しく知るためにはこの本では不足ですが、入門書としてはとっつきやすい本でお勧めです。
6 人中、5人の方が、｢このレビューが参考になった｣と投票しています。
形式:単行本
半導体プロセス技術の入門書に最適です。2000年位までの半導体プロセス最新技術が広範囲に解説されていて、一通りの知識（専門用語の意味など）を身に着けたいという人にはオススメ。
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